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RFID(无线射频识别)技术在半导体行业的应用非常广泛,它通过非接触式的自动识别和数据采集,为半导体制造过程的追踪、管理和优化提供了有效的解决方案。以下是一些具体的应用案例:
图一 AH-LC-V640
1. 生产过程追踪和控制:
- 在半导体生产线上,RFID技术可以追踪晶圆盒的物料型号、规格和加工流程等信息,实现生产过程的精确控制和调整。
- 通过在晶圆盒上部署TI玻璃管标签,半导体RFID读写器能够识别标签内的信息,
从而对生产过程进行实时监控。
2. 晶圆硅晶片清洗环节:
- 清洗区域内的TI玻璃管标签被半导体RFID读写器读取,以确定晶圆硅晶片的信息和到达清洗位的时间。
- 清洗完成后,记录清洗时间,并对已清洗的晶圆硅晶片进行标记,然后将信息上传到管理系统。
3. 晶圆盒存储柜管理:
- 半导体RFID读写器嵌入存储柜,自动上传晶圆盒的存取信息和时间到管理系统,并实时更新数据库。
4. 半导体电子货架管理:
- 电子货架上的半导体RFID读写器自动读取晶圆盒信息,并在显示屏上显示晶圆产品的部分种类信息。
- 当晶圆盒被取走,读写器无法读取标签时,会在显示屏上显示产品已被取走。
5. 半导体天车站点识别与搬运管理:
- 天车上安装的半导体RFID读写器读取轨道节点处的RFID标签,获取天车行车位置信息,进行实时监测和调度。
- 当搬运FOUP晶圆盒时,确保所搬运的晶圆盒准确无误,并将信息上传到管理系统。
RFID应用环境之一OHT
6. 崇越石英制造厂案例:
- 崇越石英制造厂利用RFID技术实现生产流程的可视化,通过在作业工单上钉付RFID标签,并在制程出入口架设读取设备,
记录作业工单的进出时间,从而掌握产品在各个制程中的实际耗时。
7. NEC崇越石英RFID入退场管理系统:
- 该系统通过自动读取作业工单上的RFID标签,让制程可视化,并帮助管理层了解每种产品在各制程中的实际耗时,找出瓶颈并进行改善。
8. RFID技术在保证生产效率和发现潜在问题方面的应用:
- 在FOUP盒上植入RFID标签,通过半导体读写器实时监测和反馈信息,实现自动化生产,减少人工干预,提高响应效率,并在问题发生时能够追溯原因。
9. RFID在半导体车间AGV搬运机器人的应用:
- AGV小车上安装RFID读写器,通过读取轨道节点的RFID载码体信息,实现物料的无人化运输管理和实时监控。
10. RFID半导体产线应用:
- 工业RFID读卡器如AH-LC-V640被用于半导体行业的生产线,通过RFID技术对生产线进行智能化改造,提高生产效率。
这些案例展示了RFID技术在半导体行业中的多样化应用,从生产流程的自动化管理到质量监控,再到物料搬运和库存管理,RFID技术都发挥着重要作用。通过这些应用,
半导体制造企业能够提高生产效率、降低成本、提升产品质量,并实现智能化管理。