一、什么是RFID技术

RFID技术全称为Radio Frequency Identification，即无线射频识别技术。该技术利用电磁场自动识别和跟踪附有标签的物品，在RFID系统中，包含了一个微型的射频电子标签，一个射频读写器和一组通讯接口设备。当被周围的RFID读写器设备触发一个电磁查询脉冲时，标签会回传数字数据（通常是一个标识库存编号），并将该数据传回给读写器。这种技术在未来物联网的建设中起着越来越重要的作用，并且已经被广泛应用于许多领域，其中包括半导体行业。

二、RFID在半导体行业的应用方向

1、生产过程管理：在半导体制造过程中，需要精确控制每个环节，以确保产品质量。

利用RFID技术可以对生产线上的物品进行实时跟踪和监控，从而提高厂家的生产效率和产品质量；

2、产品追溯：RFID技术可以实现对整个生产过程中每个处理步骤的追溯，当出现产品质量问题时可以迅速锁定问题环节，及时进行修正；

3、物料管理：在半导体行业中，需要频繁地进行物料的转运和管理。利用RFID技术，

可以追踪和管理每个物料箱的位置、状态以及历史使用情况，实现整个物料管理过程的自动化、智能化和标准化；

4、采购管理：在半导体产业中，采购部门需要根据库存和预测需求来计划产品采购。

5、产量跟踪：RFID技术有助于实现对半导体制造流程的自动化控制。

6、质量检查:半导体产业对产品质量要求十分严格，因此需要对每个生产步骤进行质量检查。通过在RFID标签中嵌入质量信息，

可以确保产品的质量，并可以随时跟踪批次或单个产品的数据。

7、设备维护：在半导体制造过程中，设备维护对于保证生产流程的连续性非常重要。

RFID技术可以记录设备的使用情况、维护历史以及维修记录，从而提高设备的可靠性和减少停机时间。

8、物流管理：在半导体行业中，需要频繁地进行物流运输。利用RFID技术，

可以对货物的位置、状态和运输过程进行实时监控和跟踪，从而提高物流运输的效率，减少物流管理的成本。

三、半导体制造行业信息化需求

随着我国半导体产业近几年的迅速发展以及国家政策的大力支持，半导体产品国产替代化进程逐步加快，取得了不错的发展成就。半导体制造业是一个典型的技术密集型的科技制造行业，其生产工艺的复杂性和精确性，要求半导体制造业对生产过程需要实施更加精细化的管理，所以建立一个完整的MES系统，是企业发展的必要条件。半导体制造企业在车间生产制造过程中面临生产过程不透明、现场信息反馈不及时、设备运行状态监控难等诸多痛点，大多数企业渴望通过智能化升级加强对生产过程的管理。

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以符合半导体行业标准的低频工业RFID识别产品为信息载体，帮助半导体Loadpord设备（EFME模块设备）,天车，FOUP存储货架等信息化提供一整套应用解决方案。

半导体行业中loadpord设备（即EFEM模块设备）RFID应用场景半导体行业的12寸晶圆盒的生产，均采用自动化天车的搬运，为了快速实现晶圆盒的搬运准确性，以及追踪工

序进度。半导体车间的FOUP上会植入一枚TI载码体，在Loadpord设备上安装一台符合支持标准工业半导体 HSMS（或者Modbus TCP）、标准工业半导体 SECS（或者Modbus RTU）、还支持 1 和 N 协议的分体式低频读卡器，用于识别FOUP上的TI载码体。