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RFID 在OHT系统上的作用
在半导体工厂的OHT(Overhead Hoist Transport,空中走行式无人搬运车)系统中,RFID技术扮演着至关重要的角色。它不仅是物料流转的“数据纽带”,也是天车安全运行的“导航基石”。具体而言,RFID在OHT系统上的作用主要体现在以下四个核心方面:
一、 晶圆载具身份识别与全流程追溯
晶圆盒(FOUP)上通常会部署RFID标签作为“身份证”,记录晶圆尺寸、制造日期、批次等关键信息。当OHT搬运晶圆盒时,其搭载的RFID读写器(或专用的CIDRW系统)能快速、准确地读取这些数据,并实时上传至管理系统。这不仅确保了物料运输的精准性,避免错拿或混料,还能在产品出现瑕疵时,通过记录的数据快速定位问题点,实现从入库到出厂的全流程溯源。
二、 天车实时定位与智能调度
为了实现多台OHT的高效协同,轨道节点处会部署RFID读写器。当OHT经过这些节点时,系统可以实时获取天车的位置信息。调度系统(如RTD)据此对天车进行合理的路径规划和任务分配,确保天车高效运行,避免拥堵和碰撞。此外,部分先进的探路系统还会利用RFID读取轨道上的走行标签,生成“走行标签-储位”的绑定距离数据,使天车定位达到毫米级精度。
三、 弯道防脱轨与减速保护
OHT在弯道行驶时会产生离心力,速度过快极易导致脱轨。传统的减速模式依赖轨道上的RFID标签或位置码来触发减速指令。当OHT扫描到弯道前方的RFID标签时,会按照预设参数进行多级减速,确保安全通过弯道。尽管目前行业内也在探索基于伺服坐标的防脱轨保护系统以解决标签损坏导致的漏读问题,但RFID依然是OHT弯道安全控制的重要基础手段。
四、 库位精准对接与防呆防错